製品紹介
PRODUCT INTRODUCTION
定量ディスペンサー
主な仕様
- W420xD730xH800mm
- 電動ポンプによる吐出
- 粘度:最大20000cp
- 精度:±0.5%FS (ポンプ単体)
各種ポンプ搭載可能(電動・エア駆動)
生産設備に合わせたインターフェース準備可能です。
(吐出開始信号及び警報)
特殊スピンコーター
主な仕様
- W750xD500xH1200mm
- 自動搬送方式
特殊ワーク形状、特殊薬液、特殊プロセスに合わせてご提案します。
角型スピンコーター
主な仕様
- W700xD800xH1600mm
- 5″角型基板
- ステッププログラム方式
スピンコーターの他
- ・スピンデベロッパー
- ・熱処理ユニット
- ・周辺露光ユニット
各種ユニットご提案します。
超音波洗浄機器
主な仕様
- W900xD900xH1700mm
- 3種類の薬液を自動供給し超音波洗浄
- 薬液温調機能付き
オプションとして
自動消火システム(CO2)
ガスセンサー
等の安全仕様も追加可能です。